FAIS

미세 정밀소자 단면 자동검사 시스템

- 500um - 2.5um 크기의 미세 정밀소자 검사

- 0.1um 크기의 초소형 이물질 및 결함 검출

- 400배 확대를 통한 정밀소자 단면 정밀 분석

- 다수의 검사 대상을 자동으로 순차적 분석 검사 수행

- 자동 위치이동, 자동 초점조절, 자동 센터위치 등 모션제어 구현

- 분석결과 DB 화 및 MES 연동 지원

- 양.불 판정을 위한 검사 프로파일 지원 (국제 규정 및 사용자 규정)