[제조 자동화] 반도체 Wet 두께 측정 설비 관리 S/W 개발 — 센서 측정·Recipe 통합 제어 | 스마트공장 · 자동화 공정

도입 내용

반도체 제조사 S사의 Wet 두께 측정 설비에 대한 전용 설비 관리 프로그램을 개발하였습니다.

· 센서 측정값 실시간 확인 및 측정기 수동 제어

· 측정기 모터 수동 제어 및 설비 상태(I/O) 확인

· 현재 설비에서 사용하는 Recipe 정보 생성 / 추가 / 적용

· Auto Mode / Manual Mode 전환 운영

· EMI ↔ PLC 신호 통신 및 이상 알람 관리

· Density Prevention / Master Profile / Emergency Stop 등 안전 기능 포함

· CIM Controller, PLC, FC I/O Board 등 다중 장치 통신 연동

· Coating Thickness Trend 실시간 모니터링